如何處理真空系統污染
低真空裝置如真空輸送☈⊙☉℃℉❅、真空浸漬ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ、真空過濾✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴、真空單調⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺、真空脫氣（鋼水處置）等懇求具有工作壓力高☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；、排氣量大的低真空泵抽氣機組✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥，這類低真空抽氣機組主泵常用往復式真空泵✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅、油封式真空泵⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓、水蒸氣放射泵ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ、水環泵ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ、羅茨泵等✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥。運用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣、濕度或其他特殊懇求⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，配置必要的除塵器✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅、單調罐等部件⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓。
水蒸氣在緊縮過程中會凝結成水滴☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，并與泵混合構成懸浮液㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，不只會使真空度降落ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ，也能使泵腔與轉子生銹☾☽❄☃，破壞密封面⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾，使泵的極限真空度降落ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ。為此ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯。防止的措施有：
（1 ）選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ；
（2 ）裝油分別器☈⊙☉℃℉❅、離心式分別器或油水分別器①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，將混有水的機械泵油中止處置ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ，處置過的油再流入泵中運用ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ；
（3 ）運用吸水性強的單調劑✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅；
（4 ）運用液氮冷阱✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥，不只能有效地吸附水蒸氣✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流웃유ღ♋♂。
油擴散泵真空系統污染與防治
油擴散泵真空系統是運用最普遍的真空系統♀☿☼☀☁☂☄，其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰。油擴散泵真空系統構成的各類真空裝置☈⊙☉℃℉❅，長期運用后㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，常見的缺點是真空度抽不上去ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，或真空度抽不到原來的極限真空水平⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾。與真空室內壁的油蒸氣污染⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯、真空工藝過程各種污染物的污染有關❣❦❧♡۵，防止的辦法是：
（1 ）定期清洗真空室✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴；
（2 ）定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵中止清洗㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦。
